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    技術文章

    TEM掃描電鏡能通過哪些信號得到被檢測樣品信息?

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      TEM掃描電鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子等多種的信號,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時,也可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如:形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。
     
      TEM掃描電鏡正是根據上述不同信息產生的機理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實現。如:通過采集二次電子、背散射電子得到有關物質表面微觀形貌的信息,背散射電子衍射花樣得到晶體結構信息,特征X-射線得到物質化學成分的信息,這些得到的都是接近樣品表面的信息。
     
      TEM掃描電鏡制樣對樣品的厚度沒有特殊要求,可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現出來,從而轉化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察,看到的只有表面加工損傷,一般要利用不同的化學溶液進行擇優腐蝕,才能產生有利于觀察的襯度。不過腐蝕會使樣品失去原結構的部分真實情況,同時引入部分人為的干擾,對樣品中厚度極小的薄層來說,造成的誤差更大。

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